供应大行程压电陶瓷纳米定位平台

大行程压电陶瓷纳米定位平台
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产品名称：
大行程纳米定位平台 | 大行程压电陶瓷纳米定位平台
规　　格：
产品备注：
产品类别：
光学精密机械
 
   产 品 说 明
 
产品说明：

大行程纳米定位平台采用了较高精度的压电陶瓷驱动技术和高刚性低成本的设计技术。

 

特点：

● ESC系列平台可被用于常温和大气压环境，有些型号还可用于**高真空环境。

● ESC系列平台采用了十字交叉滚柱导轨结构，其承载能力可高达数公斤，其俯仰，方位和转动角度偏差小于0.1mrad。

● 同时，其较大行程可达50mm,单步进给量可小至50nm。另外，可选配的用于闭环控制的传感器的分辨率达1nm。这个系列平台备有多种形式，尺寸和行程。并可直接互相组合成多轴平台。

		
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